Katika miaka ya hivi karibuni, pamoja na maendeleo ya teknolojia ya mzunguko jumuishi (IC), matumizi yanayohusiana ya nyaya zilizounganishwa yameendelezwa kwa kasi.Usafi wa hali ya juu wa shabaha ya aloi ya alumini, kama nyenzo inayosaidia katika utengenezaji wa viunganishi vya chuma vya saketi iliyounganishwa, imekuwa mada kuu katika utafiti wa hivi majuzi wa nyumbani.mhariri wa RSM atatuonyesha sifa za ubora wa juu wa shabaha ya aloi ya sputtering ya alumini.
Ili kuboresha zaidi ufanisi wa kunyunyiza wa shabaha ya magnetron sputtering na kuhakikisha ubora wa filamu zilizowekwa, idadi kubwa ya majaribio yanaonyesha kuwa kuna mahitaji fulani ya utungaji, muundo mdogo na mwelekeo wa nafaka wa shabaha ya ultra-high usafi alloy sputtering.
Ukubwa wa nafaka na mwelekeo wa nafaka wa lengo una ushawishi mkubwa juu ya utayarishaji na sifa za filamu za IC.Matokeo yanaonyesha kuwa kiwango cha utuaji hupungua kwa ongezeko la saizi ya nafaka;Kwa shabaha ya kunyunyiza yenye muundo sawa, kasi ya kunyunyizia lengwa yenye saizi ndogo ya nafaka ni ya haraka zaidi kuliko ile inayolengwa yenye saizi kubwa ya nafaka;Kadiri saizi ya nafaka ya lengo inavyofanana, ndivyo usambazaji wa unene wa filamu zilizowekwa unavyofanana.
Chini ya chombo sawa cha kunyunyizia maji na vigezo vya mchakato, kasi ya kunyunyiza kwa shabaha ya aloi ya Al Cu huongezeka kwa kuongezeka kwa msongamano wa atomiki, lakini kwa ujumla ni thabiti katika masafa.Athari ya saizi ya nafaka kwenye kiwango cha kunyunyiza ni kwa sababu ya mabadiliko ya msongamano wa atomiki na mabadiliko ya saizi ya nafaka;Kiwango cha uwekaji huathiriwa zaidi na mwelekeo wa nafaka wa shabaha ya aloi ya Al Cu.Kwa msingi wa kuhakikisha uwiano wa (200) ndege za fuwele, ongezeko la uwiano wa (111), (220) na (311) ndege za kioo zitaongeza kiwango cha uwekaji.
Saizi ya nafaka na mwelekeo wa nafaka wa shabaha za aloi ya ubora wa juu zaidi hurekebishwa na kudhibitiwa na uboreshaji wa ingot, kufanya kazi kwa moto na uwekaji upya wa fuwele.Pamoja na ukuzaji wa saizi ya kaki hadi 20.32cm (8in) na 30.48cm (inchi 12), saizi inayolengwa pia inaongezeka, ambayo inaweka mahitaji ya juu zaidi kwa shabaha za unyunyizaji wa aloi ya alumini yenye ubora wa hali ya juu.Ili kuhakikisha ubora na mavuno ya filamu, ni lazima vigezo vya uchakataji lengwa vidhibitiwe kikamilifu ili kufanya muundo mdogo unaolengwa ufanane na mwelekeo wa nafaka lazima uwe na maandishi thabiti (200) na (220) ya ndege.
Muda wa kutuma: Juni-30-2022