Kwa sasa, karibu shabaha zote za shaba za shaba za usafi wa hali ya juu zinazohitajika na sekta ya IC zinahodhiwa na makampuni kadhaa makubwa ya kimataifa ya kigeni.Malengo yote ya shaba ya hali ya juu yanayohitajika na tasnia ya ndani ya IC yanahitaji kuagizwa kutoka nje, ambayo sio tu ya gharama kubwa, lakini pia ngumu katika taratibu za uagizaji. Kwa hiyo, China inahitaji haraka kuboresha maendeleo na uhakiki wa shabaha za ubora wa juu (6N) za kumwaga shaba. .Wacha tuangalie mambo muhimu na shida katika ukuzaji wa shabaha za umwagiliaji wa shaba wa hali ya juu (6N).
1,Maendeleo ya vifaa vya usafi wa juu
Teknolojia ya utakaso wa metali za Cu, Al na Ta nchini China ni mbali na ile ya nchi zilizoendelea kiviwanda.Kwa sasa, metali nyingi za usafi wa hali ya juu ambazo zinaweza kutolewa haziwezi kukidhi mahitaji ya ubora wa mizunguko iliyounganishwa kwa malengo ya sputtering kulingana na njia za kawaida za uchambuzi wa vipengele vyote katika sekta hiyo.Idadi ya mijumuisho katika lengwa ni kubwa sana au haijasambazwa kwa usawa.Chembe mara nyingi huundwa kwenye kaki wakati wa kunyunyiza, na kusababisha mzunguko mfupi au mzunguko wazi wa unganisho, ambayo huathiri sana utendakazi wa filamu.
2,Maendeleo ya teknolojia ya maandalizi ya shabaha ya kunyunyiza
Ukuzaji wa teknolojia ya utayarishaji lengwa wa unyunyizaji wa shaba huzingatia zaidi vipengele vitatu: ukubwa wa nafaka, udhibiti wa mwelekeo na usawa.Sekta ya semiconductor ina mahitaji ya juu zaidi ya malengo ya kunyunyiza na kuyeyusha malighafi.Ina mahitaji kali sana ya udhibiti wa ukubwa wa nafaka ya uso na mwelekeo wa fuwele wa lengo.Saizi ya nafaka ya lengo lazima idhibitiwe kwa 100μ M chini, kwa hiyo, udhibiti wa ukubwa wa nafaka na njia za uchambuzi wa uwiano na kugundua ni muhimu sana kwa maendeleo ya malengo ya chuma.
3,Maendeleo ya uchambuzi nakupima teknolojia
Usafi wa juu wa lengo unamaanisha kupunguzwa kwa uchafu.Hapo awali, plasma iliyounganishwa kwa kufata (ICP) na spectrometry ya kunyonya atomiki ilitumiwa kuamua uchafu, lakini katika miaka ya hivi karibuni, uchambuzi wa ubora wa kutokwa kwa mwanga (GDMS) na unyeti wa juu umetumika hatua kwa hatua kama kiwango. njia.Uwiano wa upinzani wa mabaki Njia ya RRR hutumiwa hasa kwa uamuzi wa usafi wa umeme.Kanuni ya uamuzi wake ni kutathmini usafi wa chuma msingi kwa kupima kiwango cha mtawanyiko wa kielektroniki wa uchafu.Kwa sababu ni kupima upinzani kwenye joto la kawaida na joto la chini sana, ni rahisi kuchukua nambari.Katika miaka ya hivi karibuni, ili kuchunguza kiini cha metali, utafiti juu ya usafi wa hali ya juu unafanya kazi sana.Katika kesi hii, thamani ya RRR ndiyo njia bora ya kutathmini usafi.
Muda wa kutuma: Mei-06-2022