Mahitaji ya sputtering vifaa lengo wakati wa matumizi

Nyenzo zenye lengo la sputtered zina mahitaji ya juu wakati wa matumizi, si tu kwa usafi na ukubwa wa chembe, lakini pia kwa ukubwa wa chembe sare.Mahitaji haya ya juu yanatufanya tuwe makini zaidi tunapotumia nyenzo lengwa la sputtering.

1. Maandalizi ya kupiga

Ni muhimu sana kudumisha usafi wa chumba cha utupu, hasa mfumo wa sputtering.Vilainishi, vumbi, na mabaki yoyote kutoka kwa mipako ya awali inaweza kukusanya uchafuzi wa mazingira kama vile maji, kuathiri moja kwa moja utupu na kuongeza uwezekano wa kushindwa kuunda filamu.Saketi fupi, upinde wa shabaha, nyuso mbaya za kutengeneza filamu, na uchafu mwingi wa kemikali kwa kawaida husababishwa na chemba chafu za kunyunyizia, bunduki na shabaha.

Ili kudumisha sifa za utungaji wa mipako, gesi ya sputtering (argon au oksijeni) lazima iwe safi na kavu.Baada ya kufunga substrate katika chumba cha kunyunyizia, hewa inahitaji kutolewa ili kufikia kiwango cha utupu kinachohitajika kwa mchakato.

2. Kusafisha kwa lengo

Madhumuni ya kusafisha lengo ni kuondoa vumbi au uchafu wowote ambao unaweza kuwepo kwenye uso wa lengo.

3. Ufungaji wa lengo

Jambo muhimu zaidi la kuzingatia wakati wa mchakato wa ufungaji wa nyenzo zinazolengwa ni kuhakikisha uhusiano mzuri wa joto kati ya nyenzo zinazolengwa na ukuta wa baridi wa bunduki ya sputtering.Ikiwa ukuta wa baridi au sahani ya nyuma imepotoshwa sana, inaweza kusababisha kupasuka au kuinama wakati wa ufungaji wa nyenzo zinazolengwa.Uhamisho wa joto kutoka kwa shabaha ya nyuma hadi nyenzo inayolengwa utaathiriwa sana, na kusababisha kutoweza kusambaza joto wakati wa kunyunyiza, na hatimaye kusababisha kupasuka au kupotoka kwa nyenzo inayolengwa.

4. Mzunguko mfupi na ukaguzi wa kuziba

Baada ya ufungaji wa nyenzo za lengo, ni muhimu kuangalia mzunguko mfupi na kuziba kwa cathode nzima.Inashauriwa kutumia ohmmeter na megohmmeter ili kuamua ikiwa cathode ni mzunguko mfupi.Baada ya kuthibitisha kuwa cathode haina mzunguko mfupi, ugunduzi wa uvujaji unaweza kufanywa kwa kuingiza maji kwenye cathode ili kuamua ikiwa kuna uvujaji wowote.

5. Nyenzo inayolengwa kabla ya kunyunyiza

Inashauriwa kutumia gesi safi ya argon kwa sputtering kabla ya nyenzo lengo, ambayo inaweza kusafisha uso wa nyenzo lengo.Inapendekezwa kuongeza polepole nguvu ya kunyunyiza wakati wa mchakato wa kunyunyiza kwa nyenzo inayolengwa.Nguvu ya nyenzo za lengo la kauri