Uwekaji wa ombwe katika uteuzi wa vifaa vinavyolengwa limekuwa suala la watu, kwa sasa, kama mipako ya sputtering, hasa maendeleo ya ujuzi wa mipako ya magnetron, inaweza kusemwa kwa habari yoyote kuwa na uwezo wa kulenga maandalizi ya nyenzo ya filamu nyembamba. kwa bombardment ioni, kwa sababu kwa sputtering nyenzo lengo katika mchakato wa mipako kwa aina ya substrate, ina athari muhimu juu ya ubora wa sputtering filamu, kwa hiyo, mahitaji ya nyenzo lengwa ni masharti magumu zaidi.Hapa tutajifunza juu ya jukumu la kunyunyiza shabaha katika mipako ya utupu pamoja na Mhariri wa Beijing Relaxation
一、Kanuni ya uteuzi na uainishaji wa nyenzo lengwa
Katika uteuzi wa nyenzo zinazolengwa, pamoja na utumiaji wa filamu yenyewe inapaswa kuchaguliwa, shida zifuatazo pia zinapaswa kuzingatiwa:
Tatizo 1. Kwa mujibu wa mahitaji ya matumizi na utendaji wa membrane, ni muhimu kwa nyenzo zinazolengwa kukidhi mahitaji ya kiufundi ya usafi, maudhui ya gazeti, usawa wa sehemu, usahihi wa machining na kadhalika.
Tatizo 2. Nyenzo inayolengwa inapaswa kuwa na nguvu nzuri ya mitambo na utulivu wa kemikali baada ya kutengeneza filamu;
Tatizo la 3. Ni muhimu kwa nyenzo za filamu kuzalisha filamu iliyochanganyika kwa urahisi na gesi ya athari kama filamu tendaji ya kunyunyiza;
Tatizo la 4. Ni muhimu kuweka lengo na tumbo kuwa na nguvu, vinginevyo, nyenzo za filamu na mshikamano mzuri na tumbo zinapaswa kupitishwa, kwanza sputter safu ya filamu ya chini na kisha kuandaa safu ya filamu inayohitajika;
Swali la 5. Kwa msingi wa kukidhi mahitaji ya utendaji wa filamu, tofauti ndogo kati ya mgawo wa upanuzi wa joto wa lengo na tumbo, ni bora zaidi, ili kupunguza ushawishi wa mkazo wa joto wa filamu ya sputtering;
Maandalizi ya malengo kadhaa ya kawaida kutumika
(1) lengo la c
Chromium kama nyenzo ya filamu ya sputtering si rahisi tu kuchanganya na nyenzo msingi ina kujitoa juu, na chromium na oksidi CrQ3 filamu, tabia yake ya mitambo, upinzani asidi na utulivu wa mafuta ni bora.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. inajishughulisha zaidi na: shabaha ya zirconium inayolengwa ya titanium, shabaha ya alumini, shabaha ya nikeli, shabaha ya chromium, shabaha ya tungsten, shabaha ya molybdenum, shabaha ya shaba, shabaha ya silicon, shabaha ya niobium, shabaha ya tantalum, aloi ya titanium-silicon lengwa, shabaha ya aloi ya titanium-niobium, shabaha ya aloi ya titanium-tungsten, shabaha ya aloi ya titan-zirconium, shabaha ya aloi ya nikeli-chromium, shabaha ya aloi ya silika-alumini, shabaha ya aloi ya nikeli-vanadium, shabaha ya aloi ya chromium-alumini-silicon, Ti al nyenzo za shabaha za aloi ya ternary, hutumiwa sana katika mapambo / uso mgumu na mipako ya kazi, kioo cha usanifu, maonyesho ya gorofa / photoelectric ya macho, hifadhi ya macho, umeme, uchapishaji na taaluma nyingine.
Muda wa kutuma: Juni-02-2022