Mipako ya sumaku ya sputtering ni njia mpya ya mipako ya mvuke, ikilinganishwa na mbinu ya awali ya mipako ya uvukizi, faida zake katika nyanja nyingi ni za ajabu sana.Kama teknolojia ya kukomaa, magnetron sputtering imekuwa kutumika katika nyanja nyingi.
Kanuni ya sumaku ya sumaku:
Sehemu ya sumaku ya orthogonal na uwanja wa umeme huongezwa kati ya nguzo inayolengwa (cathode) na anode, na gesi ya ajizi inayohitajika (kawaida gesi ya Ar) inajazwa kwenye chumba cha juu cha utupu.Sumaku ya kudumu huunda uwanja wa sumaku wa gaus 250-350 kwenye uso wa nyenzo inayolengwa, na uwanja wa umeme wa orthogonal unajumuishwa na uwanja wa umeme wa voltage ya juu.Chini ya athari ya uwanja wa umeme, ioni ya gesi ya Ar kuwa ioni chanya na elektroni, inalenga na ina shinikizo fulani hasi, kutoka kwa shabaha kutoka kwa nguzo kwa athari ya uwanja wa sumaku na ongezeko la uwezekano wa ioni ya gesi inayofanya kazi, huunda plasma ya msongamano mkubwa karibu na cathode, Ar ion chini ya hatua ya nguvu ya lorentz, kasi ya kuruka hadi kwenye uso unaolengwa, kushambulia uso unaolengwa kwa kasi ya juu, Atomi zilizotapakaa kwenye lengwa hufuata kanuni ya ubadilishaji wa kasi na kuruka mbali na uso unaolengwa na kinetiki ya juu. nishati kwa filamu ya kuweka substrate.
Unyunyizaji wa sumaku kwa ujumla umegawanywa katika aina mbili: utepeshaji wa DC na upakaji wa RF.Kanuni ya vifaa vya sputtering vya DC ni rahisi, na kiwango ni haraka wakati wa kupiga chuma.matumizi ya RF sputtering ni wa kina zaidi, pamoja na sputtering vifaa conductive, lakini pia sputtering nyenzo zisizo conductive, lakini pia tendaji sputtering maandalizi ya oksidi, nitridi na carbides na vifaa vingine kiwanja.Ikiwa mzunguko wa RF huongezeka, inakuwa sputtering ya plasma ya microwave.Kwa sasa, unyunyiziaji wa plasma ya microwave ya aina ya cyclotron resonance (ECR) hutumiwa kwa kawaida.
Nyenzo inayolengwa ya mipako ya magnetron:
Nyenzo ya chuma inayolengwa, nyenzo za mipako ya aloi ya kupaka, nyenzo za mipako ya kauri, vifaa vinavyolengwa vya kumwaga kauri, nyenzo inayolengwa ya kumwaga kauri ya CARBIDE, nyenzo inayolengwa ya floridi kauri, nyenzo lengwa za kupaka nitridi kauri, shabaha ya kauri ya oksidi, nyenzo inayolengwa ya kauri ya selenidi, vifaa vya kunyunyiza. nyenzo zinazolengwa za kumwaga kauri za silicide, nyenzo inayolengwa ya sulfidi ya kauri ya kumwagika, shabaha ya kunyunyizia kauri ya Telluride, shabaha nyingine ya kauri, lengwa la kauri la oksidi ya chromium-doped (CR-SiO), shabaha ya indium fosfidi (InP), lengwa ya arsenidi ya risasi (PbAs), indium arsenidi. lengo (InAs).
Muda wa kutuma: Aug-03-2022